廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器
真空泵維修保養(yǎng)的技巧:
1、在真空泵的使用過(guò)程中,如果發(fā)現(xiàn)真空泵產(chǎn)生異常的響聲,這個(gè)時(shí)候一定要按照步驟暫停真空泵,對(duì)其進(jìn)行檢查原因。
2、定期檢查真空泵的軸套,如發(fā)現(xiàn)軸套磨損非常嚴(yán)重,要對(duì)其進(jìn)行更換。
3、定期檢查真空泵各接線處和結(jié)合處是否出現(xiàn)松弛現(xiàn)象,及時(shí)處理出現(xiàn)松動(dòng)的位置。
4、在使用真空泵的時(shí)候,要控制真空泵的速度,保證真空泵的流量在使用范圍之內(nèi),這樣既能保證真空泵高xiao運(yùn)行,并且
可以延長(zhǎng)真空泵的使用壽命。
5、真空泵的軸承也是有耐溫范圍,在使用過(guò)程中,軸承的溫度不得超過(guò)80度。
6、真空泵要定期檢查油量及油的品質(zhì),油量不足要及時(shí)添加,如果真空泵油的品質(zhì)出現(xiàn)了問(wèn)題,要及時(shí)更換新的真空泵油。
普發(fā)PFEIFFER MVP 020-3 DC 隔膜泵
1. MVP 020-3隔膜泵具有220V 24V電壓可選
2.具有Z高 1.4 m3/h 抽吸能力的功能強(qiáng)大隔膜泵
3.用于電源電壓:100-120 V, 50 Hz 以及 200-230 V, 60 Hz
4.適用于在其中需要干燥、無(wú)油真空的應(yīng)用
抽不到真空泵的極限真空度:首先檢查真空系統(tǒng)的氣密性,看是否有輕微漏氣。其次應(yīng)打開(kāi)氣鎮(zhèn),讓泵運(yùn)行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽,排除可壓縮蒸汽對(duì)極限真空度的影響。
解決方法:
更換旋片和彈簧,并清洗轉(zhuǎn)子和泵腔;檢查排氣閥門,觀看其動(dòng)作是否失靈,導(dǎo)致排氣不暢,必要時(shí)應(yīng)更換排氣閥門。
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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器哪里有修真空泵的
單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣,其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來(lái)改變泵腔的容積,以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下,軸端是密封的,是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的,其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的
PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent(VARIAN)、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設(shè)備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀,及小型分子泵組中。德國(guó)普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出氣法蘭口DN16ISO-KF,抽速可達(dá)到60L/s, 轉(zhuǎn)速為90000rpm,極限真空<1*10E8mBAR; 對(duì)應(yīng)的控制器為PFEIFFER TC600.
當(dāng)今,現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中,越來(lái)越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外,在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,z近十幾年來(lái),渦輪分子泵,在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒(méi)有大量普及和應(yīng)用的情況下,有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此,針對(duì)這種現(xiàn)狀,對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
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廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器油旋片真空泵
通常來(lái)說(shuō),一臺(tái)分子泵控制器的顯示屏閃爍可能是由于電源線路有問(wèn)題,或者是由于組件出現(xiàn)故障造成的。建議在使用之前,先檢查電源線路是否有問(wèn)題,如果有問(wèn)題及時(shí)進(jìn)行維護(hù);如果是組件出現(xiàn)故障,則需要檢查組件的電氣參數(shù),根據(jù)維修應(yīng)用指導(dǎo)手冊(cè)進(jìn)行更換或調(diào)整。
泵的排氣口出現(xiàn)了冒煙的現(xiàn)象。一般來(lái)說(shuō),入口壓力低于1300Pa,如果長(zhǎng)期在高于此壓力的狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn),大量氣流會(huì)將油帶到真空泵過(guò)濾器上,導(dǎo)致過(guò)濾器超載冒煙的情況,因此,應(yīng)選擇適當(dāng)容量的真空泵,減少入口壓力,防止煙霧。另外,過(guò)濾器使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng),過(guò)濾能力減弱,冒煙也是更換過(guò)濾器的信號(hào)。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn),其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣,在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵,縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間,并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
盡量避免低溫啟動(dòng)
油旋片真空泵一般要求環(huán)境溫度在 5 攝氏度以上,溫度過(guò)低時(shí),潤(rùn)滑油的粘度下降甚至?xí)Y(jié)沙,此時(shí)通電啟動(dòng)會(huì)造成電機(jī)燒壞、聯(lián)軸器損壞甚至轉(zhuǎn)子扭斷等嚴(yán)重的故障。
廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器 油旋片真空泵